| 產(chǎn)品目錄 |
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2X型旋片式真空泵 |
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2XZ型直聯(lián)式真空泵 |
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XZ型旋片式真空泵 |
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SZ型水環(huán)式真空泵 |
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SK型水環(huán)式真空泵 |
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2SK型水環(huán)式真空泵 |
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2BA型水環(huán)式真空泵 |
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2BV型水環(huán)式真空泵 |
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SZB型水環(huán)式真空泵 |
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SK型直聯(lián)水環(huán)式真空泵 |
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ZJ型羅茨真空泵 |
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JZJS型羅茨水環(huán)真空機(jī)組 |
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JZJBA型羅茨水環(huán)真空機(jī)組 |
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JZJWLW型無(wú)油立式真空機(jī)組 |
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JSJX型羅茨旋片真空機(jī)組 |
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JZJP型羅茨水噴射真空機(jī)組 |
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RPP型全塑水噴射真空泵 |
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MH-2型滑閥式真空泵 |
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TLZ型離心式真空泵 |
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XD型旋片式真空泵 |
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X-150型旋片式真空泵 |
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WLW型無(wú)油立式真空泵 |
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W型往復(fù)式真空泵 |
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VPS干式螺桿真空泵 |
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不銹鋼水環(huán)真空泵 |
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WJ干式無(wú)油真空泵 |
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H、2H系列滑閥真空泵 |
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3L-WD型三葉羅茨鼓風(fēng)機(jī) |
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SL型-羅茨鼓風(fēng)機(jī) |
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單位換算表 |
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各型號(hào)尺寸安裝說(shuō)明 |
| 新聞資訊 |
應(yīng)用材料將真空泵和除害裝置的運(yùn)行成本削減20％以上 |
應(yīng)用材料將真空泵和除害裝置的運(yùn)行成本削減20％以上 美國(guó)應(yīng)用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量，將運(yùn)行成本較原來(lái)削減20%以上的系統(tǒng)“Applied iSYS”。首先將面向該公司的CVD裝置提供，將來(lái)還計(jì)劃應(yīng)用于蝕刻裝置。 Applied iSYS根據(jù)制程艙內(nèi)的情況控制真空泵和除害裝置的運(yùn)行。比如，應(yīng)用于CVD裝置時(shí)，在成膜時(shí)及清潔時(shí)運(yùn)行真空泵和除害裝置，其他時(shí)間使其處于備用狀態(tài)。這樣，可減少用電量及煤氣用量等。應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠的全部CVD工序時(shí)，每年可削減真空泵和除害裝置等的運(yùn)行成本200萬(wàn)美元以上。
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