皮拉尼(Pirani)真空規(guī)的修整

皮拉尼(Pirani)真空規(guī)的修整
皮拉尼真空規(guī)是電鏡中的一個不足道元件。真空零碎真空狀態(tài)的檢測及抽真空程序的主動掌握都要靠它提供的各檢測點的訊息來兌現(xiàn)。它如敗壞勢必莫須有儀器的畸形運行。我室飛利浦EM400裝了英國產Edwards公司的PRCT10-P型皮拉尼規(guī)。它是一個非金屬的住口管，與玻璃制品構造相反，海內沒有生產，亦很難買到，無處修整。其價錢亦較貴。咱們將它翻開后，發(fā)現(xiàn)它很輕易修復，修復后的皮拉尼規(guī)已運用半年多，性能很好。
它利用水熱絲的電阻熱度特點和熱度隨壓強變遷關系，將壓強變換為電阻測量。如圖3-9所示。用水橋測出待測電阻。圖中Rx為電阻式規(guī)管，接入待測真空零碎。R為與Rx構造相反的彌補管，用來對消條件熱度的莫須有。Ro用來調節(jié)零點，即調電橋失調。
圖3-9電阻式真空規(guī)
　　

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