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ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀常見(jiàn)故障解決
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ASM181T氦質(zhì)譜檢漏儀常見(jiàn)故障解決
1、電泵故障及解決
（1）電泵不舉動(dòng)。審查名目有：電源電壓是否畸形，電門是否翻開(kāi)，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過(guò)熱（泵結(jié)冰后是否能啟動(dòng)）。
（2）電泵音調(diào)異樣。審查油位是否適合，油質(zhì)是否變壞，油溫是否＜10℃，油霧過(guò)濾器的入口有無(wú)氣體排出（那末無(wú)氣體排出，更替油霧過(guò)濾器）。2、分子泵故障及解決
（1）開(kāi)機(jī)2min后壓力批示燈不亮。此時(shí)候子泵未轉(zhuǎn)動(dòng)，即分子泵出口壓力未到設(shè)定值或未檢測(cè)到壓力（通常壓力應(yīng)＜10-3MPa，壓力過(guò)高分子泵將無(wú)奈啟動(dòng)）。因而，重要審查招致壓力過(guò)高的成分。審查的名目有：PI1真空規(guī)管是否有問(wèn)題，分子泵入口是否翻開(kāi)，電泵油是否太臟或電泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，零碎是否有透露。
（2）分子泵減速批示燈不亮。CD2通路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更替保險(xiǎn)絲或?qū)彶槭欠裼卸搪肪跋蟆?br />
（3）分子泵故障燈亮。審查CD2通路板設(shè)置電門是否在于R地位，此時(shí)無(wú)須在N地位。審查風(fēng)扇是否停留，那末風(fēng)扇畸形，請(qǐng)和廠家聯(lián)絡(luò)。3、質(zhì)譜室故障
（1）真絲批示燈不亮。審查真絲開(kāi)要害是否在于開(kāi)放地位（再按一下），審查I/O短接插銷是否儀器前面的接口。
（2）真絲批示燈閃耀。用萬(wàn)用表審查質(zhì)譜室飛行插座1和5接報(bào)柱是否開(kāi)路，若開(kāi)路，更替真絲；若不開(kāi)路，審查接報(bào)柱6是否和其余接頭導(dǎo)通，肅清短路景象.
（3）遙控面板無(wú)壓力批示。審查PI3規(guī)管是否有問(wèn)題。
（4）當(dāng)檢漏結(jié)束時(shí)壓力不上升。審查通路板PO318保險(xiǎn)絲是否有問(wèn)題.
（5）檢漏口壓力＞0.01MPa。電泵油生效或PI3規(guī)管壞.4、檢測(cè)結(jié)束時(shí)涌現(xiàn)的故障
（1）檢漏鍵有效（綠色批示燈亮）：審查真絲是否啟動(dòng)。那末真絲沒(méi)有啟動(dòng)或者真絲斷，按檢漏鍵將沒(méi)有反響。
（2）檢漏鍵有效（批示燈不亮）。I/O短接插銷未拔出儀器前面插座。那末I/O短接插銷未拔出儀器前面插座，那時(shí)檢漏儀將承受I/O口輸出信號(hào)，而不承受遙控器信號(hào)，檢漏鍵有效。5、主動(dòng)校準(zhǔn)終了時(shí)涌現(xiàn)的故障
主動(dòng)校準(zhǔn)挫�。ㄕ娼z亮）白色校準(zhǔn)燈亮。率先審查主動(dòng)校準(zhǔn)設(shè)置，電門S1是否在于OFF地位，所設(shè)置的漏率值和規(guī)范漏孔值是否統(tǒng)一。熱度傳感器是否接上；其次是審查銳敏度（那末用內(nèi)部校準(zhǔn)漏孔審查預(yù)示值和理論值統(tǒng)一，儀器也可運(yùn)用），蕩滌質(zhì)譜室。6、檢漏時(shí)涌現(xiàn)的故障
（1）不向細(xì)檢形式轉(zhuǎn)換，無(wú)油立式真空泵檢漏口壓力＜2×10-4MPa：審查粗檢批示燈是否亮，那末亮，注明檢漏儀置于粗檢形式。再按一下粗檢電門切換到主動(dòng)轉(zhuǎn)換狀態(tài)。
（2）銳敏度低。審查三極規(guī)所測(cè)壓力，待到質(zhì)譜室壓力＜10-6MPa時(shí)再檢漏；那末壓力達(dá)成，審查離子源是否被凈化，蕩滌離子源。
（3）氦本底太高。審查電泵油是否生效（泵油長(zhǎng)期運(yùn)用變質(zhì)會(huì)吸附較多的氦氣，招致氦凈化），審查儀器零碎是否有漏，真空管路是否凈化，審查三極規(guī)上壓力是否達(dá)成10-6MPa，離子源是否凈化。另外還要留神條件的凈化問(wèn)題，那末小組內(nèi)有多臺(tái)檢漏儀，且氦氣的運(yùn)用量較大時(shí)，小組透風(fēng)不好時(shí)；或者小組透風(fēng)良好，但干凈廠房多采納上送風(fēng)形式，氣旋位置是自上而下，因?yàn)楹夥肿恿枯^小，向上放散，以致氦氣放散慢，也會(huì)招致氦凈化�？朔椒ㄊ窃跈z漏口的放氣缸放氣口（通常通大氣）處，裝置一個(gè)多少升定量的氣瓶，該氣瓶與工業(yè)氣壓氦上呼吸道路聯(lián)接。那樣，就大大縮小了條件的氦凈化。
（4）通常小組檢漏生產(chǎn)之前，會(huì)拿樣件試檢漏（此樣件通常是生產(chǎn)內(nèi)中中產(chǎn)生的成品，漏率瀕臨設(shè)定漏率），會(huì)發(fā)現(xiàn)漏的樣件不漏的景象。這是所以漏的樣件自身漏率較小，通過(guò)屢次檢漏后，微孔被污垢阻塞而不漏了。正常不要徹底置信漏件，漏件屢次運(yùn)用后就不要運(yùn)用了。
（5）工裝設(shè)計(jì)不正當(dāng)招致檢漏通不過(guò)。初檢時(shí)作業(yè)畸形，作業(yè)多少次后，抽速大大減慢，檢漏不過(guò)；加死堵檢漏儀不漏，作業(yè)畸形。這是所以工裝設(shè)計(jì)不正當(dāng)所致，比方工裝構(gòu)造不正當(dāng)，內(nèi)名義太毛糙，招致過(guò)多的氦氣殘留；或者密封設(shè)計(jì)不正當(dāng)招致密封不牢靠（因?yàn)楣ぱb設(shè)計(jì)人員對(duì)業(yè)余真空設(shè)計(jì)不相熟）。
（6）操作不正當(dāng)招致故障。如作業(yè)中，有一個(gè)大漏的作件，因?yàn)椴僮魅藛T斷定謬誤，不覺(jué)得作件漏，而去審查工裝的聯(lián)接或者檢漏儀，屢次對(duì)這一作件檢漏。那樣就會(huì)發(fā)現(xiàn)，所有作件都不過(guò)。起因是大漏的作件經(jīng)屢次檢漏后，有一大批的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室，造成質(zhì)譜室凈化�？朔姆椒ㄊ�，理清質(zhì)譜室，重復(fù)吸氣排氣。
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